Dầu chuyên dụng cho bơm hút chân không Ebara EV-A10

Bơm chân không EBARA EV-A10 là dòng bơm hút chân không khô đa tầng (Multi-stage Dry Vacuum Pump) của EBARA Corporation, được thiết kế theo nguyên lý Roots không tiếp xúc, làm mát bằng không khí. Máy phù hợp với các ứng dụng cần tốc độ hút tốt ở vùng gần áp suất khí quyển, đồng thời hạn chế nguy cơ dầu hoặc nước đi ngược vào hệ thống chân không.

1. Ưu điểm nổi bật 

- Bơm chân không khô, không sử dụng dầu hoặc nước trong buồng bơm, giúp hạn chế nguy cơ nhiễm bẩn sản phẩm/quy trình.

- Thiết kế Roots đa tầng, rotor không tiếp xúc, giúp giảm ma sát và phù hợp cho các ứng dụng yêu cầu môi trường chân không sạch. 

- Làm mát bằng không khí, không cần hệ thống nước làm mát; tiện lợi khi lắp đặt và vận hành. 

Khả năng hút tốt ở vùng gần áp suất khí quyển, phù hợp với các quy trình cần hút từ áp suất khí quyển xuống chân không lặp lại nhiều lần. 

Thiết kế tương đối nhỏ gọn, yêu cầu tiện ích chủ yếu là nguồn điện, giúp linh hoạt khi bố trí thiết bị. 

Có thể sử dụng cho nhiều ứng dụng như load lock, hệ thống PVD, thiết bị phân tích, nghiên cứu và thay thế một số loại bơm ướt.

2. Ứng dụng bơm hút chân không EBARA EV-A10 

• EBARA EV-A10 có thể được sử dụng trong: 
• Hệ thống PVD và thiết bị bán dẫn 
• Load Lock Thiết bị phân tích và đo lường 
• Kính hiển vi điện tử Thiết bị plasma 
• Thiết bị nghiên cứu và phòng thí nghiệm 
• Hệ thống sấy chân không 
• Các hệ thống công nghiệp cần chân không sạch, không nhiễm dầu/nước. 

3. Lưu ý quan trọng về "bơm khô" và dầu 

Bơm hút chân không Ebara EV-A10 được gọi là bơm chân không khô vì buồng bơm/đường khí không sử dụng dầu bôi trơn, nhưng bản thân máy vẫn có dầu PFPE trong khoang bánh răng định thời và ổ bi để bôi trơn.

Dầu chuyên dụng cho bơm chân không EBARA EV-A10 BARRIERTA J100ES là loại dầu bôi trơn được tài liệu bảo trì của EBARA chỉ định cho model EV-A10, mã phụ tùng C-0402-000-0111. Tài liệu hướng dẫn EV-A10 cho biết cụm bơm sử dụng dầu và mỡ PFPE (Perfluoro-Polyether) và yêu cầu chỉ sử dụng đúng cấp dầu được khuyến nghị

Đặc điểm chính: 

Dầu bôi trơn chuyên dụng cho cụm truyền động và ổ bi của bơm chân không EBARA EV-A10. 

Giúp duy trì khả năng bôi trơn ổn định trong quá trình bơm hoạt động. 

Phù hợp với kết cấu Roots đa tầng, không tiếp xúc của bơm chân không EBARA EV-A10. 

Cần kiểm tra mức dầu định kỳ và duy trì trong khoảng giữa vạch giới hạn trên và dưới của thước báo dầu. 

Không nên tự ý thay bằng dầu chân không thông thường nếu chưa xác nhận tính tương thích với model và phiên bản máy.

Loại dầu: Dầu PFPE cao cấp chuyên dụng (thường dùng các mã như Barrierta J100 Oil hoặc tương đương theo tiêu chuẩn hãng Ebara)

Lưu ý Khi châm/thay dầu:

Không dùng lẫn lộn với dầu khoáng hoặc dầu trợ động thông thường khác.

Khi châm dầu, tuyệt đối không đổ vượt quá vạch giới hạn trên (upper limit) trên mắt thăm dầu để tránh dầu bị rò rỉ vào khoang roto.

Bơm chân không EBARA EV-A10 là dòng bơm hút chân không khô đa tầng sử dụng công nghệ Roots không tiếp xúc, làm mát bằng không khí, được thiết kế cho các hệ thống yêu cầu khả năng hút nhanh và môi trường chân không sạch. Với tốc độ hút tối đa 1.000 L/min (60 m³/h) và áp suất cuối đạt 1,0 Pa khi Gas Ballast OFF, EBARA EV-A10 phù hợp cho nhiều ứng dụng công nghiệp, bán dẫn, PVD, thiết bị phân tích và phòng thí nghiệm. 

Thiết kế không tiếp xúc giúp hạn chế ma sát trong buồng bơm, trong khi hệ thống làm mát bằng không khí giúp đơn giản hóa việc lắp đặt vì không cần nước làm mát. Bơm chân không Ebarra EV-A10 cũng có khả năng làm việc hiệu quả trong quá trình hút từ áp suất khí quyển xuống chân không, phù hợp với các hệ thống cần thực hiện chu trình hút chân không lặp lại. 

GMEK cung cấp dịch vụ kiểm tra, sửa chữa, phục hồi và bảo dưỡng bơm chân không EBARA EV-A10, bao gồm kiểm tra rotor, cụm bánh răng, ổ bi, hệ thống làm kín, động cơ, quạt làm mát và hệ thống điều khiển; đồng thời thực hiện thay thế vật tư phù hợp theo cấu hình của từng máy.